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從砂子到芯片——芯片(IC)全產業(yè)鏈梳理
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2023.03.15 廣東

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2023-03-14 23:08:41
之前寫過一篇帖子:Chiplet產業(yè)鏈梳理,文中梳理了chiplet相關內容。最近,市場又出現(xiàn)了炒作光刻膠的現(xiàn)象,光刻膠依舊是半導體產業(yè)鏈中的一個重要環(huán)節(jié)。既然chiplet和光刻膠都學習了,索性直接把芯片全產業(yè)鏈梳理一下吧,免得以后又出了某個環(huán)節(jié)的新技術而看不懂。

從一堆沙子,到一個精密的芯片,這中間究竟經歷了什么環(huán)節(jié),各個環(huán)節(jié)又需要什么樣的技術呢?

1.從砂子到硅片。

所謂“半導體”,是一種導電性能介于“導體”和“絕緣體”之間的物質總稱。導體能導電,比如鐵銅銀等金屬,絕緣體不導電,比如橡膠。芯片的制作為什么要用半導體?因為半導體的導電與所加電場方向有關,即它的導電是可以有方向性的。比如,給半導體兩端加上正電壓,它可能就導電;反之,將它兩端所加的電壓極性反過來,就不導電。而這種性能,可以做成“電子開關”。我們都聽說過“計算機做的都是二進制的0-1運算”,這種運算體現(xiàn)在物理層面就是指“高低電位的變化”,高電位代表1,低電位代表0。高低電位在復雜的電路設計下面可以實現(xiàn)復雜的轉化,這樣表現(xiàn)出來就好像是計算機在做01運算。半導體的這種電學特性可以設計成電子開關,可以很好實現(xiàn)高低電位的轉化。

在自然界中,獲取成本最低的半導體就是硅。而硅料的提取是熔煉砂子。提到這里可能有朋友想到“光伏電池片用的也是硅片”。沒錯,生產芯片和生產光伏電池片在硅片制作環(huán)節(jié)是非常相似的,都是需要先熔煉取硅,然后做切割、研磨等工藝,因此,你可能會看到一些光伏產業(yè)鏈的股票也伴有半導體概念,比如高測股份。

芯片用硅和光伏用硅最大的區(qū)別就在于純度不同。在純度方面,光伏用單晶硅片的純度要求硅含量為4N-6N之間(99.99%-99.9999%),但是半導體用單晶硅片在9N(99.9999999%)-11N(99.999999999%)左右,純度要求最低是光伏單晶硅片的1000 倍。在外觀方面,半導體用硅片在表面的平整度,光滑度和潔凈程度要比光伏用硅片的要求高。

總結來說,砂子到硅片需要經過熔煉、切片、研磨、蝕刻、拋光等過程,最終形成一片片的晶圓(所謂晶圓,就是圓形的高純度硅片)。

硅料領域主要有TCL中環(huán),切片領域主要有高測股份,拋光領域主要有華特氣體、鼎龍股份等。

好了,此時你得到了一片片處理好的高純度硅片,接下來我們就需要我們需要在晶圓上雕刻電路,形成能用的芯片。在下面的工藝流程中,大致可以分為前端工藝、后端工藝和測封。前端工藝指的是設計,后端工藝指的是制造。

2.前端設計

遙想當年在沒有計算機輔助的情況下,電路設計都是許多人趴在一張大紙上畫。現(xiàn)在有了計算機,人們可以利用計算機像寫代碼一樣去設計芯片。芯片的功能是由設計決定的,比如CPU和GPU,二者在電路設計上就不同,GPU在硬件電路設計上就比CPU更適合大規(guī)模運算。我們常聽說的手機CPU是幾核的,也是設計層面的東西。

設計IC的軟件叫EDA。EDA是面向電子設計領域的基礎工具,包括電路設計、版圖設計、版圖驗證、性能分析等,是集成電路產業(yè)的戰(zhàn)略基礎支柱之一。國內最著名的做EDA的企業(yè)就是華大九天。

EDA用的編程語言叫Verilog。1986年,硬件描述語言Verilog問世,Verilog HDL是一種硬件描述語言,以文本形式來描述數(shù)字系統(tǒng)硬件的結構和行為的語言,用它可以表示邏輯電路圖、邏輯表達式,還可以表示數(shù)字邏輯系統(tǒng)所完成的邏輯功能。1987年,VHDL問世, Verilog HDL和VHDL是世界上最流行的兩種硬件描述語言。得益于這些硬件描述語言的出現(xiàn),它們進一步推動了集成電路設計水平的提升,使得可以設計出更復雜更精細的芯片。如果你讀計算機專業(yè),基本上都會有硬件語言設計這門課,反正我當年是被折磨的不輕哈哈。

在EDA領域,我們也是被卡脖子的。國內有非常多優(yōu)秀的IC設計公司,比如華為海思、紫光國微,景嘉微等,但因為設計工具EDA受限而處處受制于人。EDA是我國芯片設計領域最卡脖子的環(huán)節(jié),華大九天EDA的全球占有率只有1%左右(2020年數(shù)據(jù)),因此在這一塊我們也是道阻且長。

3.后端制造

在芯片設計完成之后,接下來就是制作了。首先,在光刻之前,我們會先生產一塊掩模板,掩模板上刻畫著我們設計好的電路,然后在晶圓片上涂上一層光刻膠,用特定的紫外線透過掩模板照射在涂有光刻膠的硅片上,就會在硅片上形成與掩模板上一樣的電路圖。光刻膠也是我們被卡脖子的領域,國內做光刻膠比較有名的公司比如彤程新材。

紫外光會蝕掉光刻膠,裸露出晶圓片。晶圓片的其他部分則受光刻膠保護。

以上過程由于是通過光把電路刻在硅片上,因此叫做“光刻”,而完成上述過程的機器就叫光刻機。

在光刻完成之后,我們會把裸漏出來的硅片腐蝕掉(此時其他部分被光刻膠保護著,并不會被腐蝕掉),腐蝕出來一條條的“溝壑”,用于后續(xù)的填充。

在腐蝕出溝壑之后,洗去光刻膠,我們會對芯片進行離子注入、氣相沉淀和電鍍。

離子注入是往晶圓片上注入離子,改變硅片的電學性能。國內離子注入設備企業(yè)有萬業(yè)企業(yè)。 

 

氣象沉淀是讓晶圓片表面形成一層膜。國內氣相沉淀設備企業(yè)有凱美特氣。

電鍍則是上銅,畢竟最后導電的還得是銅線。

4.測封

經理上述工藝,最終會形成裸片。裸片還不能直接用,還需要測試封裝、做引腳、包裝,最后才能形成可用的芯片。


以上基本就是芯片生產全流程了。

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