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小小芯片上的上千萬個晶體管是怎么裝上去怎么工作的?人類真牛???

    追本溯源,絕大多數的芯片是從沙子中來的。沙子是如何經歷千辛萬苦搖身一變,成為價格不菲的芯片呢?下文具體說一說芯片是如何制作的。

    沙子變成CPU要經歷:制作晶圓、前工程、G/W檢測、后工程、篩選封裝這5個大的流程,細化之后又分為18個比較小的步驟,如上圖所示,經過上述步驟后,沙子就變成了芯片。

    第一步:制作晶圓

嚴格來說,半導體的主要材料是硅元素,硅元素在地球上的儲量僅次于氧元素,硅元素是制作集成電路最優質的原材料??梢哉f,沙漠這種能大量提供沙子的地方,已經成為優質硅元素的重要來源。

    1)硅提純

    沙子的主要成分是二氧化硅,而芯片制造要用到其中的硅元素,也就是單晶硅。這一步需要將硅元素從沙子中提取出來。

    目前,主要的提純手段是將沙子和焦煤放到1800℃的環境中,二氧化硅還原成純度為98%的單質硅,然后用氯化氫提純出99.99%的多晶硅,接著進一步提純99.999999999%的單晶硅。

    2)制作硅錠

    目前,制作硅錠的方法主要是直拉法,高溫液體的硅元素中加入籽晶,提供晶體生長的中心,晶體慢慢向上提升,同時以一定的速度繞著升軸旋轉,單晶硅錠就這樣形成了。

    3)切割硅錠

    圓柱體的硅錠還不能用來制作芯片,需要將硅錠切割成1mm厚的圓片,也就是我們常說的晶圓。切割工具是“鉆石鋸”,價值連城啊。

    下圖顯示了已經切割完成的晶圓,晶圓上還有一個缺口:第一是為了定出晶圓的方向,第二,為了運輸拆卸方便。

    4)研磨晶圓

    切割出的晶圓表面不光滑,需要仔細研磨,打磨因切割造成的凹凸不平的表面。研磨后,還需要用特殊的化學技術進行清洗,最后拋光,到了這一步,晶圓才制作完成。

    第二步:前工程

    前工程的主要流程是在晶圓上制作出帶有電路的芯片,其中要用到光刻機,世界上最先進的EUV光刻機,只有荷蘭的ASML能夠生產。

    1)涂抹光刻膠

    這一步將光刻膠涂抹到晶圓上,光刻膠是一種感光材料,受到光線照射后會發生化學反應。將光刻膠滴到晶圓上,通過高速旋轉均勻一致的覆蓋到晶圓上,呈一層薄膜。

    2)紫外線照射

    這一步進入光刻工藝,需要用到光刻機,是整個CPU制作環節,最復雜、成本最高的。將紫外線通過預先設計好的電路圖案磨具,照射到光刻膠上,達到電路圖復制的目的。

    3)光刻膠溶解

    這一步主要是為了溶解經過紫外線照射的光刻膠,未被照射的部分會完整保留下來。溶解后完成的晶圓經過沖洗、熱處理后進入下一個環節。

    4)蝕刻

    將晶圓放到特殊的蝕刻槽中,通過藥劑的腐蝕作用,將暴露在藥劑中的晶圓進行蝕刻。蝕刻完成后,整個晶圓的首層電路圖就完成了。

    目前,大多數的芯片晶體管采用了FINFET工藝,單層處理可能無法做出所需要的圖案,要經過多次的“涂膠-光刻-溶解”,才能獲得最終需要的3D晶體管結構,如下圖所示,顯示了一個晶體管的結構。

    5)離子注入

蝕刻完成的晶圓,不具備芯片所需的電氣特性,需要強行將離子注入到晶圓內部,用于控制內部導電類型。經過這一步,晶圓內部的某些硅原子替換成了其他院子,產生了自由電子和空穴的性能。

    6)絕緣層處理

    到了這一步,晶體管的雛形基本完成,利用氣相沉積法在硅晶圓的表面沉積一層氧化硅膜,形成絕緣層。

    7)沉淀銅層

    將銅均勻的沉積到絕緣層,下一步可直接在銅層上布線。需要再次用到光刻機,對銅層進行雕刻,形成源極、漏極、柵極。

    8)構建互聯銅層

    這一步主要是將晶體管連接起來,也需要經過銅層沉積-光刻-蝕刻開孔-沉積絕緣層等步驟,最終形成非常復雜的多層電路網絡。實際最終完成的電路結構會高達幾十層。

    第三步:G/W檢測

G/W檢測,用于檢測晶圓上的每塊芯片是否合格。通過探針,輸入信號,檢測輸出端的信號,確定芯片是否合格。

    第四步:后工程

    1)晶圓切片

    使用0.2mm的“鉆石鋸”對晶圓進行切割,切割后的每一小塊晶圓(指甲殼大?。┒紗为毘蔀橐粋€CPU內核,這個過程會有很多破損的芯片,被直接丟棄。

    2)內核裝片固定

    切割完成的芯片,也就是CPU內核,無法直接使用,需要將內核固定到基片電路。

    第五步:篩選封裝

    1)封裝

    這一步給固定好的內核裝片,安裝一個可以使用的外殼,這個外殼不僅提供固定作用,還可以保護芯片,封裝基板的觸點與內核裝片一一對應,比如intel的LGA封裝技術。

    2)等級篩選

    新的CPU誕生了,還面臨最后一道工序,需要測試每一片CPU的穩定工作頻率、功耗、發熱情況,在這個過程中,如果發現一些硬件方面的取消,會采用硬件屏蔽措施對CPU進行閹割,將CPU分為不同的等級,intel的i3、i5、i7就是這樣產生的。

    3)裝箱零售

    CPU經過等級篩選后,就進入裝箱包裝的環節了。有些進入零售渠道,有些打包出售給聯想、戴爾、惠普等主機廠商,稱為“散片”。


    總之,芯片的制造是集多種工藝大成,我國也投入了大量的資金用于研發芯片,但是整個半導體生態鏈的完善,需要不斷積累的過程,并不是錢能能夠解決掉的問題。

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