芯片在我們生活中有多重要呢?小到無線耳機、智能手機,大到汽車火車、飛機輪船,再到冰箱、電視、洗衣機等等都離不開芯片。
可以說,芯片已經是我們生活中不可或缺的電子元器件了。但是你能想想這么一款精密器件,它居然是由沙子制成的嗎?
芯片是由單質硅制成的,但自然界中并沒有天然的單質硅,大都以硅的氧化物(二氧化硅、SiO2)形態存在,二氧化硅恰好是沙子的主要成分。
芯片所使用的沙子并非我們日常在海灘、河道、建筑工地等所見的那種,因為這種沙子含有紅色、黃色、橙色的雜質,提純難度更大。
芯片使用的沙子叫硅砂,這種沙子幾乎沒有其他的雜質,就是純凈的二氧化硅。那么如何把二氧化硅變成單質硅呢?
工業上經常用碳在高溫下還原二氧化硅,然后制得含有少量雜質的粗貴。
化學式:SiO2+2C==高溫==Si+2CO↑
我們將二氧化硅和碳充分混合,然后放入電弧爐中,加熱到2000℃以上,在高溫下,碳會與二氧化硅發生反應,爐膛底部會留下單質硅,而CO變為氣體排出。
之后再用氧氣對硅進行處理,把鈣、鋁等雜質去除,得到純度為99%的單質硅。這個純度遠達不到制造芯片的標準。
為了進一步提純單質硅,我們需要將其研磨成粉狀,然后加入氯化氫,放入流化床反應器中,加熱到300℃讓其充分反應,生成三氯硅烷,同時去除鐵、硼、磷等雜質。
三氯硅烷繼續加熱到1000℃,然后與氫氣反應,最終形成純度為99.999999%的單質硅,這個級別的硅就可以用來制造芯片了。
但此時的單質硅只能算多晶硅,由數量眾多的小晶體或者微晶構成,這些小晶體之間的連接處有晶界,晶界會導致電子信號混亂,因此必須更改硅的結構,使其變成單晶硅。
多晶硅變單晶硅的過程叫做直拉單晶技術,又稱長晶。它的工藝流程為:熔化一→縮頸生長一→放肩生長一→等徑生長一→尾部生長。
熔化:簡單來說就是將多晶硅加入石英鍋內,加熱到熔點以上(1420℃),整個工程不能接觸空氣,因此長晶爐一般都是抽成真空,然后加入氬氣。
縮頸生長:將微小的晶粒放入熔化的硅熔體中,因為溫度差導致接觸面產生熱應力,形成位錯,此時快速提升,使長出的籽晶直徑減小到46mm左右。
而放肩生長就是將晶體的直徑放大至所需的尺寸,該過程需要注意降溫、減小拉速。
等徑生產,就是保持晶體直徑不變,持續拉長的過程。
尾部生長與放肩生長過程相反,當直徑縮小至一個點時,晶棒就會與硅熔體分離。整個長晶過程結束。多晶硅也就變成了單晶硅棒,也就是我們常說的硅錠。
目前硅錠的直徑大都為150mm、300mm、450mm三種,用于制造8英寸、12英寸的晶圓。
硅晶棒是無法直接進行刻蝕的,它需要經過切斷、滾磨、切片、倒角、拋光、激光刻等程序后,才能成為芯片制造的基本材料——“晶圓”。
晶圓的切片方法有傳統的機械切割(劃片)和激光切割(切片)。
機械切割是直接將鉆石鋸片作用在晶圓表面,產生應力,使其分割。切割寬度一般為25-35μm之間,速度為8-10mm/s,切割慢,不同規格需要不同的刀具。
此外,機械切割容易造成晶圓崩邊、破損等現象。
而旋轉砂輪式切割雖然可以降低晶圓破損,但需要去離子水冷卻,又導致成本較高。于是發明了新型激光切割。
激光切割不會產生機械應力,大大地保證了晶圓的質量。
此外激光的精確度更高,可以達到亞微米級別,非常適合精密加工,在強大的脈沖能量下,硅材料直接汽化產生均勻的溝道,實現切割。
激光切割速度更快,且不需要冷卻水,更不會出現磨損刀具的問題,可以24小時不間斷作業。
激光對晶圓有更好的兼容性和通用性。
切割后的晶圓再通過氧化、化學氣相沉積等方法進行鍍膜,使表面形成一層SiO2薄膜,并在SiO2薄膜中進行N型、P型摻雜。
是不是很多網友認為晶圓就像一張DVD光盤,其實并非如此,晶圓不是標準的圓形,一般都會切出一個邊,當作類似三角形的“底”,成為“有底的圓”。
芯片制造是最復雜的工藝,僅僅簡單地走一遍流程就需要20多道,而真正的要制造一款手機芯片,需要幾百道,甚至是幾千道工序。
這里只講一講主要的工序。
芯片制造的主要流程為:清洗、預烘、涂膠、前烘、對準、曝光、顯影、豎膜、刻蝕、去膠。
1、清洗
清洗的目的就是去除金屬離子,確保晶圓無污染、無針孔、無缺陷。具體步驟如下:
1、使用強氧化劑清洗液,使晶圓表面的金屬離子溶解在清洗液中;
2、用H+去除殘留在晶圓表面的金屬離子;
3、用去離子水清洗晶圓,徹底排除清洗液。
2、預烘
晶圓清洗完畢后,要進行烘干,確保無殘留的清洗液,更有利于底膠的涂覆,并把晶圓溫度保持在80℃左右。
3、涂底膠
為了增強光刻膠與晶圓的粘附性,需要涂一層底膠,底膠涂覆的時候需要環境溫度保持在100℃左右。
4、光刻膠涂覆
光刻膠是感光樹脂、增感劑和溶劑組成的混合液體,被紫外光、電子束、X射線照射后,溶解度會發生變化。
方法:晶圓在1000℃的高溫中進行氧化,然后用涂膠機將光刻膠均勻地涂在晶圓表面。
5、前烘
前烘的目的是將光刻膠的溶劑蒸發掉,使光刻膠均勻地粘附在晶圓表面,而且烘干后的光刻膠涂層更薄。
6、對準
對準操作時,對精度要求極高,這絕對是對技術和設備的重大考驗。
要求對準精度為最細的線寬1/10左右,同時精度隨著芯片的制程變化。例如:5nm工藝的芯片對準精度就達到了1nm。
7、曝光
曝光就類似于照相機按快門,當紫外光對涂有光刻膠的晶圓照射時,光刻膠就發生了化學反應。
正膠曝光部分在顯影液中被溶解,沒有曝光的膠層留下;負膠的曝光部分在顯影液中不溶解,而沒有曝光的膠層卻被溶解掉。
8、顯影
被曝光后的晶圓放入顯影液中,感光區的光刻膠就會溶解,這一步完成后,晶圓上的電路圖就顯現出來了。
9、豎模
顯影工序后,形成了無光刻膠的顯性圖形和有光刻膠的隱性圖形,這個圖形組合可以作為下一步的模版。
10、刻蝕
刻蝕可以選擇性地移除晶圓上的特定部分,并對邊緣輪廓修整或表面清潔等。刻蝕工藝主要有兩大類:濕法刻蝕和干法刻蝕。
刻蝕對于器件的電學性能十分重要。如果刻蝕過程中出現失誤,將造成難以恢復的硅片報廢。
11、去膠
以上工藝全部結束后,要把光刻膠去除,采用等離子、特殊溶劑、等方法。
這僅僅是一次操作,實際上制造芯片時,需要不斷地重復以上操作。每加入一個層級就要進行一次光刻,最終形成一個多層的立體結構型的芯片。
為了防止芯片的刮損,同時更方面的與其它元器件連接,還要對芯片進行封裝。
手機芯片制造完成后,只有指甲蓋大小,并且非常薄,稍有不慎就會刮傷損壞,導致前面做的一系列工作化為烏有。
而芯片封裝就是給芯片安裝一個外殼,可以有效地固定、保護、密封、連接芯片。
芯片封裝后的金屬接腳簡直就是與外界溝通的橋梁,這些橋梁將芯片與電路板有效的連接起來,讓芯片更安全、高效的發揮作用。
封裝流程主要有:劃片、裝片、鍵合、塑封、去飛邊、電鍍、打印、切筋成型。
常見的封裝方式有兩種: DIP 封裝、 BGA 封裝
DIP 封裝:
DIP封裝即雙排直立式封裝,采用此封裝的 IC 芯片在雙排腳下,看起來會像條黑色蜈蚣,讓人印象深刻,此封裝法為最早采用的 IC 封裝技術。
優點:成本低廉、適合小型且不需要接太多線的芯片。
缺點:散熱效果較差,無法滿足現行高速芯片的要求。
BGA 封裝:
以金線將芯片接到金屬接腳,
優點:體積小、容納更多的接腳;
缺點:工藝復雜、成本較高。
封裝完成后,再進行功能、電氣、安全、環境、機械等方面的測試,就大功告成了。
沙子變為高端芯片是一個極其復雜而精密的過程,目前沒有任何一個國家可以單獨完成這項任務。
這項過程不僅需要大量的專業技術,也需要很多精密的設備,和性能不同的化學試劑。這對每個國家都是考驗。
我國在該領域起步晚,底子薄,但發展速度非常快,相信假以時日,在科研人員的努力下定能獨立打造出高端芯片。
我是科技銘程,歡迎共同討論!